1. Chịu trách nhiệm chính về việc kiểm soát chất lượng thiết bị làm sạch trong xưởng, đạt được các chỉ số thiết bị khác nhau liên quan đến xưởng sản xuất thông minh về tỷ lệ năng suất, tỷ lệ làm lại, tỷ lệ phân mảnh.
2. Cải tiến và đổi mới, sử dụng thiết bị phụ trợ, giảm thiểu chi phí của bộ phận thiết bị.
3. Phân loại đồ họa EL trầy xước ngoại tuyến, tổng hợp, báo cáo và kiểm soát những loại vết xước có tỷ lệ cao. 
4. Phân loại đồ họa PL trầy xước trực tuyến, trích xuất và theo dõi ID wafer 
5. Tiến hành phân tích các điểm tác động gây ra trầy xước, gửi cho các bộ phận liên quan xem xét, xây dựng lưu trình quản lý và kiểm soát, hình thành tổng hợp kinh nghiệm xử lý bất thường và thiết lập hồ sơ kiểm soát.